无码人妻,艳鉧动漫1~6全集在线观看,国产午夜福利片,圣女当众被迫高潮h高

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

更新時(shí)間:2020-04-17點(diǎn)擊次數(shù):2292

      針對(duì)光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設(shè)計(jì)了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。

主要結(jié)論有:

(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計(jì)中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時(shí)避免了靶裝置在預(yù)先清洗時(shí)的污染;設(shè)計(jì)了靶裝置的驅(qū)動(dòng)端,完成了電機(jī)、傳動(dòng)裝置和軸承的選型。

(2)設(shè)計(jì)等離子體源來改善沉積系統(tǒng)離化率不足的問題。選擇0.2 mm鎢絲制成陰極,坩堝作為陽極。利用基爾霍夫定律計(jì)算出螺旋管的長(zhǎng)度與橫截面積。比較了等離子體源的四種電源連接方式,選擇在螺旋管兩端加入輔助調(diào)節(jié)電源,方便調(diào)節(jié)電磁場(chǎng)的方式。

(3)設(shè)計(jì)了陽極清洗裝置來解決磁控濺射中的陽極污染問題。陽極清洗裝置包括可旋轉(zhuǎn)陽極和清洗裝置兩部分,設(shè)計(jì)了多套清洗裝置協(xié)同工作時(shí)的電源連接方式。制定了冷卻系統(tǒng)方案和管路圖來滿足系統(tǒng)的冷卻設(shè)計(jì)要求。設(shè)計(jì)了一套供氣系統(tǒng),根據(jù)設(shè)計(jì)要求確定了電磁閥和質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)。 

日韩av无码| 公交车上少妇迎合我摩擦| 亚洲日韩一区二区三区| 四川妇女bbbwbbbwm| 免费看男男gay啪啪网站| 又白又嫩毛又多15p| 年轻漂亮的女教师| 丰满的已婚女人hd中字| 少妇扒开双腿自慰出白浆 | 另类sm一区二区三区免费视频| 青苹果乐园在线观看| 粗大的内捧猛烈进出沈块池汐| 激烈 痉挛 抽搐 潮喷 mp4| 曰本女人与公拘交酡免费视频| 永久免费的啪啪网站免费观看浪潮 | 末成年女AV片一区二区丫| 邪恶道acg| 亚洲精品成人无码中文毛片| 精品亚洲av成人无码明星换脸| 熟妇人妻无乱码中文字幕| 我高潮太爽忍不住大叫怎么办| 99久久无码一区人妻a片竹菊| japanese酒醉侵犯| 大乳丰满人妻中文字幕日本| 一边亲一面膜下| 久久免费看黄a级毛片| 亚洲乱亚洲乱妇22p| 国产香港明星裸体xxxx视频| 浮力影院50826| 精品无人国产偷自产在线| 精品国产一区二区三区av| 怀孕妇女bbwbbw| 欧美牲交a欧牲交aⅴ久久| 亚洲国产精品特色大片观看完整版 | 色戒汤唯未删减版的在线观看| 诱人的妺妺2中文在线观看车爱| 精品香蕉一区二区三区| 久久久久国色av免费看| 蜜桃视频直播app| 性直播视频在线观看| 日本电影丰满岳乱妇中字|